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  金融界 2025 年 1 月 30 日新闻,国度学问产权局消息显示,深圳市章阁仪器有限公司申请一项名为“喷涂安装及涂布显影修造”的专利,公然号 CN 119376196 A,申请日期为 2024 年 6 月。

  专利摘要显示,本申请属于半导体创修修造本领界限,全体涉及一种喷涂安装及涂布显影修造,喷涂安装蕴涵显影喷嘴组件和吹扫组件,显影喷嘴组件蕴涵显影喷嘴,显影喷嘴拥有进液端口和喷液端口,进液端口用于通入显影液,喷液端口用于喷出显影液,吹扫组件蕴涵气体喷嘴,气体喷嘴修树正在显影喷嘴宽度对象的一侧,气体喷嘴拥有进气端口和喷气端口,进气端口用于通入吹扫气体,喷气端口用于喷出吹扫气体。因为吹扫气体可滞碍显影液提前扩散到显影喷嘴前哨,正在显影较厚的光刻胶时,可合意消重显影喷嘴的搬动速率,以办理底部的光刻胶显影不充满导致的显影缺乏与不统统显影题目,而不必扩充显影喷涂次数,是以可明显缩短显影工艺时分,提升半导体创修的管事功效。

  天眼查原料显示,深圳市章阁仪器有限公司,造造于2022年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表创修业为主的企业。企业注册本钱50000万百姓币。通过天眼查大数据剖析,深圳市章阁仪器有限公司参加招投标项目26次,专利消息2条,其余企业还具有行政许可128个。


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